Equipamento de pirólise por pulverização ultrassônica e sistema de revestimento TCO

Óxido uniforme de lata de índio de filme fino (ITO), óxido de zinco dopado com alumínio (azo), óxido de zinco (ZnO) e camadas de óxido dopado com fluorina são geralmente produzidas pela tecnologia de pirólise por pulverização ultrassônica. Esse processo exclusivo requer equipamentos de revestimento especializados para criar a espessura e a forma de revestimento necessárias e pulverizar soluções corrosivas em ambientes de alta temperatura.

Durante a pirólise por pulverização ultrassônica de alta temperatura, a solução precursora (como óxido de zinco de alumínio) é pulverizada no substrato aquecido a cerca de 300-500. O solvente evapora durante o transporte e um filme de cristal de ZnO cresce na superfície do substrato, geralmente cálcio de sódio ou outro vidro. A temperatura do substrato geralmente determina as características morfológicas do filme.

A deposição úmida por spray ultrassônica fornece aos fabricantes uma alternativa econômica à deposição e pulverização a vácuo, com maior eficiência de transferência. O tamanho da gota gerado pelo bico de atomização ultrassônico é altamente uniforme, o que pode atingir o tamanho ideal das gotículas para a reação de pirólise, e todas as gotículas reagirão simultaneamente da mesma maneira durante o processo de deposição. Seja pesquisa e desenvolvimento ou produção em massa, isso trará processos eficientes de produção de TCO.

O uso de bicos ultrassônicos divertidos supera o desafio do processo de pulverizar ácidos altamente corrosivos. O bico é feito de materiais estruturais resistentes à corrosão e possui as propriedades de nenhum bloqueio, repetibilidade e vida longa. Pode até pulverizar soluções de ácido clorídrico altamente corrosivo ou ácido hidrofluórico.

Vantagens do sistema de pirólise por pulverização ultrassônica para revestimento de TCO:

1. Comparado com o processo de CVD (deposição de vapor químico), a pirólise por pulverização ultrassônica é simples, flexível e econômica.
2. Especialização comprovada de revestimento TCO.
Comparados com outros métodos de pulverização, os bicos ultrassônicos podem depositar camadas mais uniformes.
4. Parâmetros de revestimento fáceis de ajustar e repetíveis.
5. Tecnologia de bocais ultrassônicos patenteados totalmente integrados e entrega de líquidos, fornecendo uma solução completa de revestimento.
Os processos alternativos de pirólise por pulverização de baixa temperatura (250 graus e abaixo) estão emergentes constantemente, e mais pesquisas e desenvolvimento foram realizados em produtos químicos que não precisam de substratos alvo de alta temperatura.